ams OSRAM qualifiziert AIXTRONs G5+ C- und G10-AsP-Anlagen auf 200mm-Wafern für Micro LED-Anwendungen

Die MOCVD-Anlage AIX G5+ C und die neue G10-AsP von AIXTRON SE basieren auf dem erfolgreichen Planetary Reactor®-Prinzip und bereiten den Weg für die nächste Generation von hochauflösenden Micro LED-Displays. Im Frühjahr 2022 hatte ams OSRAM Pläne angekündigt, zusätzliche Fertigungskapazitäten auf Basis 200 mm zu schaffen, die die Produktion von LED und Micro LED an seinem bestehenden Standort in Malaysia ermöglichen. Die MOCVD-Anlagen sollen dazu beitragen, die Massenproduktion von Micro LED für eine neue Generation von Display-Anwendungen zu ermöglichen.

"AIXTRON und ams OSRAM arbeiten seit langem zusammen, und wir sind mit den Leistungs- und Qualitätsstandards der Anlagen vertraut. Für ein ehrgeiziges Projekt wie die Entwicklung und Produktion von Micro LEDs für AsP- und GaN-Bauelemente benötigen wir genau einen solchen Partner an unserer Seite", sagt Robert Feurle, Executive Vice President und Leiter der Business Unit Opto Semiconductors bei ams OSRAM.

Dr. Felix Grawert, Vorstandsvorsitzender der AIXTRON SE, ergänzt: "Die Qualifizierung von G10-AsP und AIX G5+ C bei ams OSRAM ist ein sehr wichtiger Meilenstein in unserer Unternehmensgeschichte. ams OSRAM ist ein LED-Hersteller von Weltrang und perfekt aufgestellt, um diese grundlegend neue Technologie zu ermöglichen, die auf den Markt kommen wird.  Wir stehen an der Schwelle eines Technologiewandels – weg von herkömmlichen Display-Technologien und hin zu einer neuen Art von Micro LED-Displays. AIXTRON betritt jetzt einen der Wachstumsmärkte der Zukunft mit enormem Potenzial, und dafür haben wir den perfekten Partner an unserer Seite.“

Micro LEDs bieten ganz erhebliche Vorteile für die Display-Technologie. Dazu gehören eine höhere Pixeldichte und Helligkeit, längere Lebensdauer, schnellere Schaltgeschwindigkeit und ein breiteres Farbspektrum. Ein wichtiger Vorteil ist auch der relativ niedrige Energieverbrauch, der Micro LED ideal für die kommenden Generationen kleiner Mobilgeräte mit Display macht, die nur sehr wenig Platz für Batterien bieten.

Die Produktion von Micro LEDs ist verknüpft mit besonderen Anforderungen: Die Massenproduktion beruht auf einem speziellen Transferverfahren, bei dem mehrere tausend LED-Chips (Arrays) von nur wenigen Mikrometern Größe aufgenommen und übertragen werden. Jeder Fehler kann zu toten Pixeln führen, die ein ganzes Array unbrauchbar machen können. Daher ist ein nahezu fehlerfreier Epitaxie-Prozess erforderlich, der die Defekte minimiert und eine hohe Ausbeute und damit eine wirtschaftliche Produktion von Micro LEDs ermöglicht.

AIXTRONs neue G10-AsP-Epitaxieanlage wurde speziell für die Anforderungen dieser Anwendung entwickelt: Sie ist die weltweit erste AsP-Anlage, die eine vollautomatische Beladung der Wafer von Kassette-zu-Kassette – C2C (Cassette-to-Cassette) – sowie einen vollautomatischen Reinigungsmechanismus auf der Basis von In-situ-Ätzung bietet. Diese beiden Merkmale haben großen Einfluss auf die Ausbeute. Darüber hinaus bietet die AIXTRON-Anlage die Vorteile der Batch-Reaktor-Technologie.

Damit ermöglicht die AIX G10-AsP die aktuell niedrigsten Produktionskosten pro Wafer, und den höchsten Durchsatz pro Reinraumfläche. Gleichzeitig verfügt die neue Anlage über eine präzise Durchfluss- und Temperaturregelung, die eine optimale Materialgleichmäßigkeit bei jedem Durchlauf sichert.

Über ams OSRAM

Die ams OSRAM Gruppe (SIX: AMS), ist ein weltweit führender Anbieter von optischen Lösungen. Wir verbinden Licht mit Intelligenz und Innovation mit Leidenschaft und bereichern so das Leben der Menschen. Das bedeutet für uns Sensing is Life. 

Mit einer gemeinsam mehr als 110 Jahren zurückreichenden Geschichte definiert sich unser Unternehmen im Kern durch Vorstellungskraft, tiefes technisches Know-how sowie die Fähigkeit, Sensor- und Lichttechnologien im globalen industriellen Maßstab zu fertigen. Wir entwickeln begeisternde Innovationen, die es unseren Kunden in den Märkten Consumer, Automobil, Gesundheit und Industrie ermöglichen, dem Wettbewerb einen Schritt voraus zu sein. Zugleich treiben wir damit Innovationen voran, die unsere Lebensqualität hinsichtlich Gesundheit, Sicherheit und Komfort nachhaltig erhöhen und dabei die Auswirkungen auf die Umwelt reduzieren. 

Unsere rund 22.000 Mitarbeiter weltweit sorgen mit Innovationen in den Bereichen Sensorik, Beleuchtung und Visualisierung für sichereres Fahren, effektivere medizinische Diagnosen und mehr Komfort im Kommunikationsalltag. Unsere Arbeit lässt Technologien für bahnbrechende Anwendungen Wirklichkeit werden, was sich in über 15.000 erteilten und angemeldeten Patenten widerspiegelt. Mit Hauptsitz in Premstätten/Graz (Österreich) und einem Co-Hauptsitz in München (Deutschland) erzielte die ams OSRAM Gruppe im Jahr 2021 einen Umsatz von über EUR 5 Mrd. und ist als ams-OSRAM AG an der SIX Swiss Exchange notiert (ISIN: AT0000A18XM4).  

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