Ein MES für die Zukunft der Halbleiterfertigung

Critical Manufacturing MES ist ein Manufacturing Execution System mit großem Funktionsumfang, der die anspruchsvollen Front-End-, Back-End- und F&E-Szenarien abdecken kann. Dazu gehören das Rezeptmanagement, die Planung und Durchführung von Fertigungsversuchen und die Unterstützung typischer Abläufe wie Vorläuferwafern. Eine moderne, integrierte Datenplattform kontextualisiert und analysiert Daten sowohl aus dem Fertigungsbereich als auch aus mehreren Produktionsstandorten und der gesamten Lieferkette.

Das Versuchsmanagement ist eine entscheidende Funktionalität in der Halbleiterfertigung, wenn es darum geht, den sich ständig verändernden Marktanforderungen zu begegnen. Auf Modifikationen und Produktentwicklung entfallen unter Umständen die Hälfte aller Wafer in der Fertigung. Die Integration von Versuchen im MES erlaubt die parallele Abwicklung von Fertigungslosen mit Testwafern in der laufenden Produktion. Dank der uneingeschränkten Nachverfolgung können alle Daten aus den Versuchsläufen automatisch zur Auswertung aufgezeichnet werden.

Das integrierte Rezeptmanagement-Modul bietet eine nahtlose Maschinenintegration und ausgereifte Strategien zur Rezeptsteuerung. So können Rezepte zentral verwaltet und je nach Bedarf hoch- oder heruntergeladen werden. Automatisiertes Rezeptmanagement kann mögliche Fehler und Nacharbeit oder Ausschuss vermeiden. Zur Gewährleistung der Rückverfolgbarkeit werden im MES die genaue Rezeptversion und die für jeden Fertigungsauftrag verwendeten Einstellungen genau erfasst, so dass sichergestellt ist, dass das Rezept nicht geändert worden ist.

Für Vorläuferwafer, die aus dem Carrier entnommen und zum Testen eines Prozesses vorausgeschickt werden, stellt die Send-Ahead-Funktionalität im MES sicher, dass der Wafer nach der Entnahme korrekt bearbeitet und nachverfolgt und anschließend ins entsprechende Los zurückgeführt wird. Das System ermöglicht auch den Vorlauf des gesamten Loses, indem die zu bearbeitenden Slots im Carrier definiert werden. Die restlichen Wafer werden dabei nicht berücksichtigt, bis das Ergebnis vorliegt.

Tom Bednarz, Geschäftsführer von Critical Manufacturing Deutschland GmbH, sagt: „In der Lösung gibt es weitere MES-Module, die speziell für die anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterfertigung entwickelt wurden. Darüber hinaus hat unser MES dank HTML5, Containern und DevOps-Integration eine neue Qualität im Hinblick auf die Anwendungsflexibilität und Skalierbarkeit erreicht.“

Critical Manufacturing MES bietet dank DevOps-Ansatz eine schnelle Bereitstellung, Wartung und Aufrüstung selbst an mehreren Produktionsstandorten. So wird sichergestellt, dass neue Funktionen und Technologien rasch übernommen werden können, und die Fertigungsunternehmen kontinuierliche Verbesserungen zur Steigerung der Produktionsleistung und Reaktionsfähigkeit im Hinblick auf die sich ändernden Marktanforderungen erhalten. Das System nutzt eine Container-Orchestrierung, die zur weiteren Verbesserung der IT-Performance beiträgt und eine problemlose Bereitstellung des Systems an verschiedenen Produktionsstandorten weltweit ermöglicht.

„Unser MES deckt viele Standardanforderungen der Halbleiterfertigung ab. Gleichzeitig ist unser System aber auch äußerst flexibel konfigurierbar, so dass die spezifischen Geschäftsanforderungen der jeweiligen Fabriken schnell abgebildet und künftige Anpassungen an veränderte wirtschaftliche Entwicklungen ermöglicht werden“, so Bednarz weiter. „Die Nutzung der Industrie-4.0-Technologie eröffnet eine neue Ära in der Halbleiterfertigung und bietet der Branche deutliche Vorteile.“

Die Experten von Critical Manufacturing erwarten Sie in Halle C1, Stand C1736 auf der SEMICON Europa, die vom 15. bis 18. November auf dem Messegelände in München, Deutschland, stattfindet. Sie stehen Ihnen zur Verfügung, um über spezifische Standortanforderungen zu sprechen und die besonderen Vorzüge dieses modernen, konfigurierbaren MES zu präsentieren, welches insbesondere für die komplexen Anforderungen der Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Um eine Live-Demonstration der wichtigsten Funktionen von Critical Manufacturing MES zu planen, besuchen Sie bitte folgende Website: https://www.criticalmanufacturing.com/campaign/semicon-europa-2022/

Bednarz fasst zusammen: „Angesichts der anhaltenden Nachfrage nach Halbleitern stellt sich nicht die Frage, ob Halbleiterhersteller ein zukunftsfähiges MES in Betracht ziehen sollten, sondern ob sie ohne ein solches auskommen können.“