Höchste Wiederholgenauigkeit und große Verfahrwege

Steinmeyer Mechatronik bietet den Scantisch KT600-edlm ergänzend zum Kreuz-Durchleuchttisch KDT600-edlm an. Der neue Tisch in geschlossener Variante überzeugt mit erhöhten Verfahrwegen und optimierten Ablaufwerten. Mit seinem Hub von 450 mm gestattet der KT600-edlm auch das Abrastern sehr großer Wafer und Substrate in X- und Y-Richtung. Da er wie der KDT600 über ein trennbares Kabelterminal verfügt, sind eine vereinfachte Montage und Integration garantiert.

Der Kreuztisch besticht durch höchste Wiederholgenauigkeit in Geradheit, Ebenheit und Positionierung von ±0,25 µm und bietet damit die Grundlage für hochgenaue Messaufbauten. Um dies zu erreichen, verwendet Steinmeyer Mechatronik bei der Konstruktion polierte Kreuzrollenführungen und eisenlose Linearmotoren. Der eisenlose Motor garantiert einen feinfühligen Antrieb ohne störenden Einfluss auf die Ablaufparameter. Gleichzeitig sorgt der Linearantrieb für eine hohe Dynamik. Die erreichbaren hohen Beschleunigungen von bis zu 5 m/s² und Spitzengeschwindigkeiten von 330 mm/s prädestinieren das Positioniersystem für schnelle Scananwendungen und dynamische Bahnfahrten.

Da die Motoren in X- und Y-Richtung auf unterschiedliche bewegte Massen abgestimmt sind, ergibt sich ein homogenes Verhalten. Der Scantisch verhält sich also in beiden Achsen gleich. Um maximale Beschleunigungen zu erzielen und damit noch schneller scannen zu können, lassen sich beide Achsen des KT600-edlm auch gleich motorisieren. Typische Einsatzbereiche des neuen Scantisches sind die Halbleiterinspektion, Messanlagen, Messgeräte sowie alle Bereiche, in denen typischerweise Luftlagertische verwendet werden.